一般來說我們所知道的凈化工程就是控制產(chǎn)品(如硅片等)所處環(huán)境的潔凈度和溫濕度)接觸，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造。這個空間的設(shè)計和建造過程可以稱為凈化工程。寧波的凈化工程可分為紊流和層流。

1.湍流

空氣從空調(diào)箱通過潔凈室的風(fēng)管和空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，從潔凈室兩側(cè)的隔斷墻板或高架地板返回。氣流以非線性方式運(yùn)動，并處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。該類型適用于1000-100000級潔凈室。優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，潔凈室易于擴(kuò)展。在一些特殊的地方，無塵工作臺可以用來提高潔凈室級別。缺點(diǎn):湍流產(chǎn)生的塵粒漂浮在室內(nèi)空間，不易排出，容易污染工藝產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)停止并重新啟動，通常需要很長時間才能達(dá)到所需的清潔度。

2.層流

層流氣流運(yùn)動成均勻的直線，空氣通過100%覆蓋的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，從兩側(cè)高架地板或隔墻板返回。這種類型適用于潔凈室級別要求較高的環(huán)境。一般潔凈室等級為1級~100級。其類型可分為兩種:

(1)水平層流:水平空氣從過濾器向一個方向吹出，由對面墻上的回風(fēng)系統(tǒng)送回。粉塵隨風(fēng)向室外排放，下游側(cè)污染普遍嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡單，術(shù)后短時間內(nèi)穩(wěn)定。缺點(diǎn):建設(shè)成本比亂流高，室內(nèi)空間不易拓展。

(2)垂直層流:房間天花板覆蓋ULPA過濾網(wǎng)，空氣自上而下吹，潔凈度可高。制造過程中或工作人員產(chǎn)生的灰塵可以迅速排出室外，而不會影響其他工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn):易于管理，運(yùn)行開始后短時間內(nèi)狀態(tài)穩(wěn)定，不易受運(yùn)行狀態(tài)或操作人員的影響。紊流缺點(diǎn):建設(shè)成本高，靈活應(yīng)用空間困難，吊頂?shù)跫苷加每臻g相當(dāng)大，維修更換過濾器麻煩。混合型:混合型是湍流和分層流的結(jié)合，可以提供局部超凈空氣。

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